採訪記者 : j 於 July 31, 19101 at 14:18:21 :

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【台南訊】為我國孕育高科技競爭力、提供微機電技術資源服務給國內產、官、學、研相關研究單位而成立的國立成功大學微系統中心，日前以優異的績效超越台灣大學與清華大學，榮獲國科會評比第一名，並獲得新台幣二千六百萬元研究經費之補助以資鼓勵。成大表示，這項殊榮，對於成大微系統中心所有工作團隊的成員，不僅是一種肯定、也是一種鼓勵，未來成大會繼續秉持資源共享的原則，提供產官學研界最好的技術服務。

微機電系統技術是一項二十一世紀中世界各國公認最具發展潛力的關鍵科技，國立成功大學微系統中心負責執行國科會微機電技術發展科技專案，規劃成立之「國科會南區微系統共同實驗室」，目前，除完成各項基礎核心製程技術建置提供多項技術服務，已成為南區微機電技術研發環境中最強而有力之技術支援單位。微系統中心自八十九年五月成立以來，各項服務指標績效卓著，令人刮目相看。

國科會為了協助學術界與產業界從事微機電研究、達到資源共享之目的，分別在北、中、南各設了一個微系統實驗室；北區設在台灣大學，以模型建立、理論分析為主。中區設在清華大學，以釸做為基礎，主要以製程為主，偏重於各種製程的技術，包含氧化、擴散、離子物質等，南區設在成功大學，基於成功大學擁有實力堅強的醫學院，在南科園區又設有生物科技特區，因此，南區微系統共同實驗室的研究以生物科技微系統為主，如生物晶片、感測器..等。

設在成大航太校區科技大樓的南區微系統共同實驗室，已建置完成1000級10坪及10000級78坪共88坪無塵室，並安裝了供氣及毒廢氣處理設備、ICP、e-gun、PECVD、氧化爐、橢圓儀。正採購LPCVD、共軛聚焦顯微鏡、五座清洗台、切片機、焊線機、探針台、及RIE（F-based）等設備，至於無塵室主體之建構，在科技大樓四樓東側約九十坪空間及其正上方之五樓三十坪，為微系統研究中心功用實驗之建立地點。未來，將陸續進行設備使用訓練，開放共同實驗室之使用。俟「儀器設備中心大樓」落成之後，有一整層樓計三百五十坪作為「微系統研究中心」之用，樓層挑高4.5米以作為更高級數之無塵之用，已規劃一百五十坪為無塵室，二百坪為研究室、中心辦公室，屆時，將有更寬敞的空間提供更好的服務。 900731