採訪記者 : j 於 April 27, 19100 at 09:03:44 :

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【台南訊】為我國孕育二十一世紀的高科技競爭力，提供微機電技術資源給國內產、官、學、研相關的研究單位，以掌握微機電產業發展新契機而成立的國立成功大學「國科會南區微系統共同實驗室」，訂於五月二日（星期二）上午九時假自強校區（航太校區）科技大樓舉行開放儀式暨說明會，歡迎媒體記者小姐先生蒞臨指導。

成功大學研發長、兼國科會南區微系統研究中心主任洪敏雄指出，微機電系統技術是一項二十一世紀世界各國公認最具發展潛力的關鍵科技，其發展可以說是如火如荼地在各研究領域中出現，國立成功大學執行國科會微機電技術發展科技專案，負責規劃之「國科會南區微系統共同實驗室」，已完成各項基礎核心製程技術建置，成為南區微機電技術研發環境中最強而有力之技術支援單位。為加強南區微機電技術研發環境及加速廠商新產品開發，「國科會南區微系統共同實驗室」將開放實驗室提供微機電技術資源，支援國內產、官、學、研相關的研究單位。

洪敏雄研發長表示，成功大學國科會南區微系統共同實驗室之建置已完成1000級10坪及10000級78坪共88坪無塵室，並安裝了供氣及毒廢氣處理設備、ICP、e-gun、PECVD、氧化爐、橢圓儀，正採購LPCVD、共軛聚焦顯微鏡、五座清洗台、切片機、焊線機、探針台、及RIE（F-based）等設備。未來將陸續進行設備使用訓練，並開放共同實驗室之使用。在研究計畫推展方面，設研究群共三群、個人計畫二十六人。至於人才培育訓練方面，預計大學部學程人數約五十人，而從事微系統研究之研究生約六十人。

去年十一月成功大學校友馬學坤捐贈新台幣一億元，計畫興建「儀器設備中心大樓」，樓高八層，其中地下一樓部分共三百五十坪作為「微系統研究中心」之用，樓層挑高4.5米以作為更高級數之無塵之用，已規劃一百五十坪為無塵室，二百坪為研究室、中心辦公室。至於國科會南區微系統研究中心之無塵室主體之建構，在科技大樓四樓東側約九十坪空間及其正上方之五樓三十坪，計畫規劃為微系統研究中心功用實驗之建立地點。 890427j