南區微系統共同實驗室昨在成大掛牌 正式對外開放
採訪記者 : j 於 May 02, 19100 at 16:14:26 :
新聞內容 :
【台南訊】為我國孕育二十一世紀的高科技競爭力，提供微機電技術資源給國內產、官、學、研相關的研究單位而成立的國立成功大學「國科會南區微系統共同實驗室」終於在昨（二）日上午九時自強校區（航太校區）科技大樓舉行開放儀式，儀式由成功大學與國科會工程處處長蘇炎坤共同主持，正式提供國內產、官、學、研等相關研究單位之微機電技術資源服務，開啟生物科技微機電產業發展之新契機。
成功大學翁政義校長昨特別提起三年多前，當時與還是成功大學研發長蘇炎坤處長，和張炎輝教授三個人，跑到台北和當時的國科會主委劉兆玄說明微機電系統在未來科技產業發展的重要性，希望爭取國科會支持在南部成功大學設立一個國家級重點實驗研究中心。雖然那個時候學術界有許多人想從事微機電系統的研究，但是當時的儀器欠缺且經費不足，這套設備非常昂貴不是一般大學所能負擔得起。國科會工程處處長蘇炎坤體會微機電系統在科技上的重要性，便在政策上決定於北、中、南各成立一個實驗室，南部委由成功大學負責規劃，該項計畫至今已邁入第二年，兩年期間由於工作同仁的努力，微系統共同實驗室已有不錯的成果了。
翁政義校長強調，有關於微系統的方面，成功大學已列為全校跨院之重要推動的重點工作，對於南區微系統共同實驗室，成大秉持一貫理念全力支持，期望國科會也能夠繼續給予支援。翁政義校長說，我以一個學機械，也就是從力學的觀念來看，今天大家在發展這個微系統好像都偏向於在製程方面的研究，而在製程方面基本上就是IC的製程技術，這個技術應用到微系統中，其實技術層面並不是很高，而真正微系統的技術的重點在哪裡？我們必須從科學的基礎去探討，也就是說一個東西的尺寸小到某一層次以下。
翁政義校長以美國柏克萊大學為例指出，柏克萊大學整個微系統研發的重點是放在機械系，因為微系統所涉及的基礎，基本上還是從力學的觀點，所以說柏克萊大學機械系已經變成在全美做微機電最領先的一個學系。未來，成功大學除本身善用南區微系統共同實驗室的設施外，亦將開放「國科會南區微系統共同實驗室」提供微機電技術資源，支援國內產、官、學、研等相關的研究單位使用。
國科會工程處處長蘇炎坤致詞時，除感謝成功大學翁政義校長對於微系統共同實驗室的大力支持、給予相當多經費的補助外，也感謝微系統中心的洪敏雄主任對於整個微系統中心所作的規劃、整合及貢獻。蘇炎坤處長指出，台灣的微機電現在的發展並不健全，但擁有一定的實力，如半導體、資訊科技等的技術，對於微機電研發有相當的潛力。南區微系統共同實驗室幾乎從零到現在，已經有一個相當完整的規模，國科會為了協助學術界與產業界從事微機電研究、並且達到資源的共享，所以在北、中、南各設了一個微系統實驗室，三個實驗室之間有所區隔，分別是一個是重理論、一個重系統、一個重生物科技，北區在台灣大學，以模型建立、理論分析為主。中區設在清華大學，以釸做為基礎，主要以製程為主，偏重於各種製程的技術，包含氧化、擴散、離子物質、等，而成功大學因為有堅強的醫學院，南科又有生物科技特區，因此設在成功大學的南區微系統共同實驗室則側重在於生物科技微系統的研究，如生物晶片、感測器..等。
成功大學研發長、兼國科會南區微系統研究中心主任洪敏雄指出，國科會在成功大學設立微系統共同實驗室，實在很有眼光，以成功大學在各方面的優勢，成功大學一定會做出很亮麗的成績，洪敏雄主任表示，微機電系統技術是一項二十一世紀世界各國公認最具發展潛力的關鍵科技，其發展可以說是如火如荼地在各研究領域中出現，國立成功大學執行國科會微機電技術發展科技專案，負責規劃之「國科會南區微系統共同實驗室」，已完成各項基礎核心製程技術建置，成為南區微機電技術研發環境中最強而有力之技術支援單位。
洪敏雄主任說，現階段成功大學國科會南區微系統共同實驗室之建置已完成1000級10坪及10000級78坪共88坪無塵室，並安裝了供氣及毒廢氣處理設備、ICP、e-gun、PECVD、氧化爐、橢圓儀。正採購LPCVD、共軛聚焦顯微鏡、五座清洗台、切片機、焊線機、探針台、及RIE（F-based）等設備。洪敏雄主任說，未來將陸續進行設備使用訓練，並開放共同實驗室之使用，俟「儀器設備中心大樓」落成後，會有一整樓計三百五十坪作為「微系統研究中心」之用，樓層挑高4.5米以作為更高級數之無塵之用，已規劃一百五十坪為無塵室，二百坪為研究室、中心辦公室。至於國科會南區微系統研究中心之無塵室主體之建構，在科技大樓四樓東側約九十坪空間及其正上方之五樓三十坪，計畫規劃為微系統研究中心功用實驗之建立地點。
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【台南訊】為我國孕育二十一世紀的高科技競爭力，提供微機電技術資源給國內產、官、學、研相關的研究單位而成立的國立成功大學「國科會南區微系統共同實驗室」終於在昨（二）日上午九時自強校區（航太校區）科技大樓舉行開放儀式，儀式由成功大學與國科會工程處處長蘇炎坤共同主持，正式提供國內產、官、學、研等相關研究單位之微機電技術資源服務，開啟生物科技微機電產業發展之新契機。
成功大學翁政義校長昨特別提起三年多前，當時與還是成功大學研發長蘇炎坤處長，和張炎輝教授三個人，跑到台北和當時的國科會主委劉兆玄說明微機電系統在未來科技產業發展的重要性，希望爭取國科會支持在南部成功大學設立一個國家級重點實驗研究中心。雖然那個時候學術界有許多人想從事微機電系統的研究，但是當時的儀器欠缺且經費不足，這套設備非常昂貴不是一般大學所能負擔得起。國科會工程處處長蘇炎坤體會微機電系統在科技上的重要性，便在政策上決定於北、中、南各成立一個實驗室，南部委由成功大學負責規劃，該項計畫至今已邁入第二年，兩年期間由於工作同仁的努力，微系統共同實驗室已有不錯的成果了。
翁政義校長強調，有關於微系統的方面，成功大學已列為全校跨院之重要推動的重點工作，對於南區微系統共同實驗室，成大秉持一貫理念全力支持，期望國科會也能夠繼續給予支援。翁政義校長說，我以一個學機械，也就是從力學的觀念來看，今天大家在發展這個微系統好像都偏向於在製程方面的研究，而在製程方面基本上就是IC的製程技術，這個技術應用到微系統中，其實技術層面並不是很高，而真正微系統的技術的重點在哪裡？我們必須從科學的基礎去探討，也就是說一個東西的尺寸小到某一層次以下。
翁政義校長以美國柏克萊大學為例指出，柏克萊大學整個微系統研發的重點是放在機械系，因為微系統所涉及的基礎，基本上還是從力學的觀點，所以說柏克萊大學機械系已經變成在全美做微機電最領先的一個學系。未來，成功大學除本身善用南區微系統共同實驗室的設施外，亦將開放「國科會南區微系統共同實驗室」提供微機電技術資源，支援國內產、官、學、研等相關的研究單位使用。
國科會工程處處長蘇炎坤致詞時，除感謝成功大學翁政義校長對於微系統共同實驗室的大力支持、給予相當多經費的補助外，也感謝微系統中心的洪敏雄主任對於整個微系統中心所作的規劃、整合及貢獻。蘇炎坤處長指出，台灣的微機電現在的發展並不健全，但擁有一定的實力，如半導體、資訊科技等的技術，對於微機電研發有相當的潛力。南區微系統共同實驗室幾乎從零到現在，已經有一個相當完整的規模，國科會為了協助學術界與產業界從事微機電研究、並且達到資源的共享，所以在北、中、南各設了一個微系統實驗室，三個實驗室之間有所區隔，分別是一個是重理論、一個重系統、一個重生物科技，北區在台灣大學，以模型建立、理論分析為主。中區設在清華大學，以釸做為基礎，主要以製程為主，偏重於各種製程的技術，包含氧化、擴散、離子物質、等，而成功大學因為有堅強的醫學院，南科又有生物科技特區，因此設在成功大學的南區微系統共同實驗室則側重在於生物科技微系統的研究，如生物晶片、感測器..等。
成功大學研發長、兼國科會南區微系統研究中心主任洪敏雄指出，國科會在成功大學設立微系統共同實驗室，實在很有眼光，以成功大學在各方面的優勢，成功大學一定會做出很亮麗的成績，洪敏雄主任表示，微機電系統技術是一項二十一世紀世界各國公認最具發展潛力的關鍵科技，其發展可以說是如火如荼地在各研究領域中出現，國立成功大學執行國科會微機電技術發展科技專案，負責規劃之「國科會南區微系統共同實驗室」，已完成各項基礎核心製程技術建置，成為南區微機電技術研發環境中最強而有力之技術支援單位。
洪敏雄主任說，現階段成功大學國科會南區微系統共同實驗室之建置已完成1000級10坪及10000級78坪共88坪無塵室，並安裝了供氣及毒廢氣處理設備、ICP、e-gun、PECVD、氧化爐、橢圓儀。正採購LPCVD、共軛聚焦顯微鏡、五座清洗台、切片機、焊線機、探針台、及RIE（F-based）等設備。洪敏雄主任說，未來將陸續進行設備使用訓練，並開放共同實驗室之使用，俟「儀器設備中心大樓」落成後，會有一整樓計三百五十坪作為「微系統研究中心」之用，樓層挑高4.5米以作為更高級數之無塵之用，已規劃一百五十坪為無塵室，二百坪為研究室、中心辦公室。至於國科會南區微系統研究中心之無塵室主體之建構，在科技大樓四樓東側約九十坪空間及其正上方之五樓三十坪，計畫規劃為微系統研究中心功用實驗之建立地點。
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