好東西與好朋友分享 成大微奈米科技中心 將貴重儀器設備端上桌
採訪記者 : j 於 June 30, 2005 at 10:33:02 :
新聞內容 :
【台南訊】國立成功大學「微奈米科技研究中心」暨國科會「南台灣奈米核心設施」貴重儀器設備說明會與開放實驗室，昨（三十）日在成大國際會議廳隆重登場，成大微奈米科技研究中心除了開放科技大樓無塵室與奈米核心設施實驗室，並將貴重儀器設備端上桌，詳細介紹各項儀器設備的使用與用途，與會人士咸認成大此舉意義深遠，希望有機會與成大建立合作關係。
為了促進學術界與產業界對成大微奈米科技研究中心儀器設備之了解，並進一步加以利用，以提昇其使用效率，三十日成大微奈米科技研究中心特別邀請一百多位產學研界的人士，由專業人員幫忙儀器設備的介紹與解說，協助認識微奈米科技研究中心的各項尖端儀器設備與機台，此外，亦開放核心實驗室供大家實地瞭解儀器設備與機台的操作與工作環境。
與會人士不僅對於該中心的核心設施實驗室驚豔不已，尤其對高解析度度穿透式電子顯微鏡(HR-TEM)等12貴重儀器設備之功能、特性、與使用辦法，更是興趣濃厚，一再垂詢儀器設備的借用辦法與合作方式，並當場表達高度合作的意願。
微奈米科技研究中心主任曾永華教授指出，成大微奈米科技研究中心自民國88年於自強校區科技大樓設置「共同實驗室」，七年來，於國科會、教育部、與成大之經費支援下，陸續建置微機電(MEMS)與奈米科技(Nano-Technology and Nano-Science)相關之重要製程與檢測儀器設備約五十餘種，成大微奈米科技研究中心歡迎大家一起來利用各項儀器設備從事奈米科技研究。
成大微奈米科技研究中心所展示的12貴重儀器設備，包括一、高解析度度穿透式電子顯微鏡(HR-TEM)。二、分子束磊晶成長儀簡介 (MBE)。三、 SEM與電子微影技術 (SEM with E-beam Lithography Attachment)。四、共軛焦顯微鏡三維尺寸形貌量測儀 (Confocal Microscope as a 3D Profilometer)。五、超高真空離子束濺鍍機 (Ion Beam Sputter, IBS)。六、快速熱退火設備 (Rapid Thermal Annealing, RTA)。七、拉曼光譜與螢光光譜儀 (Raman and PL)。八、奈米壓印機 (Nano-Imptinting System)。九、近場掃瞄式光學顯微鏡 (NSOM)。十、奈米壓痕與奈米視界 (MTS Nano-Indenter & Nano-Vision)。十一、薄膜應力量測儀 (Thin Film Stress Measurement)。十二、深反應離子蝕刻機 (ICP)。
以「高解析場發射掃描穿透式電子顯微鏡」為例，電子顯微鏡電子發射源是場發射之燈絲，因此具有極高空間及能量解析度。除了一般成像及繞射功能外，可以做對比極佳之高解析原子影像。因為其附加許多設備，成為材料解晰最佳利器。如掃描裝置可以加電子束縮小至1nm以下，進行高解析之掃描明暗場像，可以做原子成分影像及原子級介面分析。X光能量分散儀(EDX)可以進行化學成分分析。Gatan影像過濾器(GIF)可以進行電子能量損失圖譜，得到成分定量分析，並可以得到試片化學鍵結及電子結構等資訊；除此之外藉由GIF上可以進行電子能量過濾成像，得到精確之成分分布圖。利用雙稜鏡(Bi-prison)可以進行磁場及電場分布之分析。
而另一項貴重儀器－奈米壓印機，曾永華主任說，微奈米壓印技術即是利用已具有微米或是奈米圖案之模板，並將所欲使用之基板，將阻劑均勻塗佈於其上並加熱，以足夠的力下壓於基板上，移開模板，即可得到與模板相反之微奈米圖案。UV光感成型式奈米轉印及晶圓對準設備具UV光感成型式奈米轉印製程能力，具有雙面對準曝光功能及微接觸轉印製程能力。熱壓成型奈米轉印設備，具有微米及奈米熱壓成型奈米轉印製程能力。具有陽極、融熔、黏著、共晶、矽晶圓製程能力。940630j
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【台南訊】國立成功大學「微奈米科技研究中心」暨國科會「南台灣奈米核心設施」貴重儀器設備說明會與開放實驗室，昨（三十）日在成大國際會議廳隆重登場，成大微奈米科技研究中心除了開放科技大樓無塵室與奈米核心設施實驗室，並將貴重儀器設備端上桌，詳細介紹各項儀器設備的使用與用途，與會人士咸認成大此舉意義深遠，希望有機會與成大建立合作關係。
為了促進學術界與產業界對成大微奈米科技研究中心儀器設備之了解，並進一步加以利用，以提昇其使用效率，三十日成大微奈米科技研究中心特別邀請一百多位產學研界的人士，由專業人員幫忙儀器設備的介紹與解說，協助認識微奈米科技研究中心的各項尖端儀器設備與機台，此外，亦開放核心實驗室供大家實地瞭解儀器設備與機台的操作與工作環境。
與會人士不僅對於該中心的核心設施實驗室驚豔不已，尤其對高解析度度穿透式電子顯微鏡(HR-TEM)等12貴重儀器設備之功能、特性、與使用辦法，更是興趣濃厚，一再垂詢儀器設備的借用辦法與合作方式，並當場表達高度合作的意願。
微奈米科技研究中心主任曾永華教授指出，成大微奈米科技研究中心自民國88年於自強校區科技大樓設置「共同實驗室」，七年來，於國科會、教育部、與成大之經費支援下，陸續建置微機電(MEMS)與奈米科技(Nano-Technology and Nano-Science)相關之重要製程與檢測儀器設備約五十餘種，成大微奈米科技研究中心歡迎大家一起來利用各項儀器設備從事奈米科技研究。
成大微奈米科技研究中心所展示的12貴重儀器設備，包括一、高解析度度穿透式電子顯微鏡(HR-TEM)。二、分子束磊晶成長儀簡介 (MBE)。三、 SEM與電子微影技術 (SEM with E-beam Lithography Attachment)。四、共軛焦顯微鏡三維尺寸形貌量測儀 (Confocal Microscope as a 3D Profilometer)。五、超高真空離子束濺鍍機 (Ion Beam Sputter, IBS)。六、快速熱退火設備 (Rapid Thermal Annealing, RTA)。七、拉曼光譜與螢光光譜儀 (Raman and PL)。八、奈米壓印機 (Nano-Imptinting System)。九、近場掃瞄式光學顯微鏡 (NSOM)。十、奈米壓痕與奈米視界 (MTS Nano-Indenter & Nano-Vision)。十一、薄膜應力量測儀 (Thin Film Stress Measurement)。十二、深反應離子蝕刻機 (ICP)。
以「高解析場發射掃描穿透式電子顯微鏡」為例，電子顯微鏡電子發射源是場發射之燈絲，因此具有極高空間及能量解析度。除了一般成像及繞射功能外，可以做對比極佳之高解析原子影像。因為其附加許多設備，成為材料解晰最佳利器。如掃描裝置可以加電子束縮小至1nm以下，進行高解析之掃描明暗場像，可以做原子成分影像及原子級介面分析。X光能量分散儀(EDX)可以進行化學成分分析。Gatan影像過濾器(GIF)可以進行電子能量損失圖譜，得到成分定量分析，並可以得到試片化學鍵結及電子結構等資訊；除此之外藉由GIF上可以進行電子能量過濾成像，得到精確之成分分布圖。利用雙稜鏡(Bi-prison)可以進行磁場及電場分布之分析。
而另一項貴重儀器－奈米壓印機，曾永華主任說，微奈米壓印技術即是利用已具有微米或是奈米圖案之模板，並將所欲使用之基板，將阻劑均勻塗佈於其上並加熱，以足夠的力下壓於基板上，移開模板，即可得到與模板相反之微奈米圖案。UV光感成型式奈米轉印及晶圓對準設備具UV光感成型式奈米轉印製程能力，具有雙面對準曝光功能及微接觸轉印製程能力。熱壓成型奈米轉印設備，具有微米及奈米熱壓成型奈米轉印製程能力。具有陽極、融熔、黏著、共晶、矽晶圓製程能力。940630j
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