【台南訊】LED有許多製程，「圖案化藍寶石基板(PSS)」是其中之一，業界現以「黃光微影」技術處理PSS，產能有限，良率亦不理想。國立成功大學機械工程學系教授李永春帶領團隊開發出全新、取代黃光微影的「軟性光罩微影」技術，良率幾乎百分之百，克服業界頭疼的量產、良率等問題，業界看好此技術前景，與該團隊合作，希望以「軟性光罩微影」關鍵技術與元件，支援下一世代LED產業的發展，並進軍韓國、大陸、日本的PSS市場。

「軟性光罩微影」技術不只革命性的克服了業界長期以來生產PSS的大瓶頸，還有一層極重大的義意—技術自主。目前，李永春教授團隊已在樹谷園區成立永嘉光電，東捷技科投資新台幣一千二百萬元，團隊將於11月底進駐；東捷另外在樹谷園區新設永鑫光電，明年初永嘉、永鑫將攜手合作量產高品質、低成本的PSS，除供應國內LED廠外，也將進軍日、韓、中國。

李永春教授表示，LED採用的藍寶石基板硬度極高，在講究LED高發光效率的要求下，必需在基板上做出極微小、細密的圖案結構，才能有高的發光效率，5年前業界採用玻璃光罩技術，但硬式玻璃光罩與基板的貼合度不佳，很難在基板上做出細膩的圖案與結構，之後業者改用投射式黃光微影技術與步進式曝光機台，但此技術適合處理半導體產業中小面積與個別圖形的曝光，用於LED-PSS大面積為結構的曝光時，會有費時、費工、圖形接縫、光學失焦…等問題，且量產效率低，良率亦不甚理想。

李永春教授指出，軟性光罩微影技術，以軟性材質覆於藍寶石基板上，沒有昔日玻璃光罩技術的硬碰硬、做不出細膩結構的問題，也沒有黃光微影只適合小面積曝光的困擾。以軟性光罩微影技術做出的PSS，有效的克服上述兩個問題，而且過程極為穩定。

李永春教授說，現行的黃光微影技術，要在PSS上做出高解析度的小型圖案，以6吋大小的產品為例，1小時只能做4、5片，而且還有良率不理想的問題，估計1小時生產的可用品約2片，若改採用軟性光罩處理技術1小時可做4、50片，也沒有良率的問題，至於代工費用，採用黃光微影製程1片約80至100美元，改用軟性光罩處理技術可以降低約一半的製程成本。

李永春教授強調，成大開發的軟性光罩微影技術，不只革命性的克服了業界長期以來生產PSS的大瓶頸，還有一層極重大的義意—技術自主。該技術從發想、材料到生產軟性光罩的機台等，全都是台灣自己所擁有，不受其他國家專利的限制，也不必額外支付他人專利費。

李永春教授表示，目前業界已紛紛打探軟性光罩微影技術，永嘉、永鑫聯手以軟性光罩微影技術製造的PSS，預定明年初的第一季即可問市，估計一到兩年後業界就會大舉跟進。