【聯合報╱記者鄭語謙／即時報導】


成功大學研究團隊研發全自動虛擬量測技術，改善零件原本只能抽測和浪費時間的問題，還可即時監測，可幫助半導體、面板和太陽能產業，每年增加2000萬到3000萬美元的產值

研究團隊負責人、成功大學E化製造研究中心主任鄭芳田表示，傳統晶圓廠只能以「抽檢」方式進行實體的品質監測，每次抽測都要耗費4個小時，萬一出錯，已生產的晶圓就要全部報銷。而「全自動虛擬量測技術」，可以在生產機台製作晶圓時，透過參數計算以虛擬方式檢測每一片晶圓，檢測速度也只要2秒，大大縮減時間成本。技術不僅獨步全球，也取得5國專利，未來將傳銷全世界。