中時即時 洪榮志

「台灣半導體之父」財團法人潘文淵文教基金會公布今年的研究傑出獎，成功大學教授鄭芳田因半導體製造系統虛擬量測的學術研究獨步全球而獲選，將可獲頒獎座及獎金50萬元，頒獎典禮將於新竹工研院中興院區國際會議廳舉行。

成大指出，潘文淵文教基金會研究傑出獎，專為表揚國內外電子、資訊及通訊等相關領域的華裔研究傑出人士，在理論創新、實驗技術發展、生產製程改善或儀器製作等具有國際水準，同時領導大型或整合性計畫卓有成效者，每年選拔1次，名額為台灣、大陸及國外合計不超過3人。

成大表示，全球半導體製造系統虛擬量測研究的先驅鄭芳田，1976年從成大電機畢業後，就進入國防部中山科學研究院服務。1995年起鄭芳田回成大製造資訊與系統研究所任教，致力於將在中科院磨練出來的自動化系統與整合技術及經驗，應用於半導體、面板、太陽能電池與工具機產業的生產製程改善、生產自動化與E化製造等研究領域上，以降低生產成本，提高產業競爭力。

成大還說，鄭芳田在虛擬量測學術研究領域獨步全球，不僅曾發表16篇相關的期刊論文，也同時榮獲5國多項發明專利。這些專利更構成一個非常完整的專利地圖，不容易被其他研發團隊突破或超越，加上成功完成22項技術移轉給多家半導體、面板及太陽能廠商使用，對於學術研究及產業發展貢獻卓越。